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2-34.el pulido químico mecánico

2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

2-34.el pulido químico mecánico

2018-01-08

El pulido mecánico mecánico / planarización es corto como cmp, un proceso de alisar superficies con la combinación de fuerzas químicas y mecánicas. se puede considerar como un híbrido de grabado químico y pulido abrasivo libre.

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