2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

Orientación de la superficie 2-4.wafer

2018-01-08

denota la orientación de la superficie de una oblea con respecto a un plano cristalográfico dentro de la estructura reticular.

en obleas cortan intencionalmente \"fuera de orientación\", la dirección de corte es paralela a la primaria  en, lejos de la secundaria  en.


medido con un goniómetro de rayos X en una muestra de una oblea por lingote en el centro de la oblea.

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