3.Definiciones de epitaxia de carburo de silicio

3-8. Inclusiones 3c

2018-01-08

regiones donde se interrumpió el paso de during was durante el crecimiento de la capa de epi. las regiones típicas son generalmente triangulares, aunque a veces se ven formas más redondeadas. cuenta una vez por ocurrencia. dos inclusiones dentro de 200 micras cuentan como una.

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