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5-4-1 falta histórica de obleas sic

5. tecnología de carburo de silicio

5-4-1 falta histórica de obleas sic

2018-01-08

Las obleas reproducibles de consistencia razonable, tamaño, calidad y disponibilidad son un requisito previo para

producción comercial masiva de productos electrónicos semiconductores. muchos materiales semiconductores se pueden derretir

y recristalizar de forma reproducible en cristales individuales grandes con la ayuda de un cristal de siembra, como en el

método czochralski empleado en la fabricación de casi todas las obleas de silicio, permitiendo un tamaño razonablemente grande

obleas para ser producidas en masa. sin embargo, porque sic sublima en lugar de derretirse a un nivel razonablemente alcanzable

presiones, sic no se puede cultivar mediante técnicas convencionales de crecimiento en estado fundido. antes de 1980, experimental

Los dispositivos electrónicos sic se limitaron a pequeñas plaquetas de cristal sic de forma irregular (generalmente ~ 1)

crecido como un subproducto del proceso acheson para la fabricación de abrasivos industriales (por ejemplo, papel de lija)

o por el proceso de lely. en el proceso de lely, sic sublimado a partir de polvo policristalino sic en

las temperaturas cercanas a los 2500 ° C se condensan aleatoriamente en las paredes de una cavidad que forma un pequeño hexagonal

plaquetas en forma. mientras que estos pequeños cristales no reproducibles permitieron algunos componentes básicos de electrónica sic

investigación, claramente no eran adecuados para la producción en masa de semiconductores. como tal, el silicio se convirtió en el

semiconductor dominante alimentando la revolución de la tecnología de estado sólido, mientras que el interés en la microelectrónica basada en sic

fue limitado.

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