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5-5-4 grabado con estampado de sic para la fabricación del dispositivo

5. tecnología de carburo de silicio

5-5-4 grabado con estampado de sic para la fabricación del dispositivo

2018-01-08

a temperatura ambiente, no se conocen productos químicos húmedos convencionales que graban sic monocristalino. más

El grabado modelado de sic para dispositivos electrónicos y circuitos se logra usando técnicas de grabado en seco.

el lector debe consultar las referencias 122-124 que contienen resúmenes de resultados secos de grabado sic

obtenido hasta la fecha. el proceso más comúnmente empleado implica el grabado iónico reactivo (rie) de sic en

plasmas fluorados. Las máscaras de grabado sacrificatorio (como el aluminio metálico) se depositan y fotolitograficamente

modelado para proteger las áreas deseadas de ser grabado. el proceso sic rie puede ser implementado

utilizando hardware estándar de silicio y tasas típicas de grabado de 4h y 6h del orden de cientos

de angstroms por minuto. Los procesos sic-rios bien optimizados son típicamente altamente anisotrópicos con poco

socavado de la máscara de grabado, dejando superficies lisas. una de las claves para lograr superficies lisas

está evitando el \"micromecanismo\", en el que el material de enmascaramiento se graba ligeramente y se vuelve a depositar al azar

sobre la muestra enmascarando efectivamente áreas muy pequeñas en la muestra que estaban destinadas para uniforme

aguafuerte. esto puede dar lugar a que se formen características de residuo de etileno de tipo \"hierba\" en las regiones sin máscara, que

es indeseable en la mayoría de los casos.


mientras que las tasas de rie etch son suficientes para muchas aplicaciones electrónicas, las tasas de grabado sic son mucho más altas

necesario para tallar características del orden de decenas a cientos de micrómetros de profundidad que se necesitan para realizar

Sensores avanzados, mems y orificios pasantes útiles para dispositivos sic rf. secado en seco de plasma de alta densidad

técnicas como la resonancia ciclotrónica de electrones y plasma acoplado inductivamente han sido

desarrollado para satisfacer la necesidad de un grabado profundo de sic. marcas de grabado modeladas libres de residuos superiores a

mil angstroms por minuto han sido demostrados.


También se ha demostrado el grabado modelado de sic a tasas de ataque muy altas usando foto asistida y

grabado húmedo electroquímico oscuro. eligiendo las condiciones adecuadas de grabado, esta técnica ha demostrado

una capacidad de paro de grabado selectivo de dopantes muy útil. sin embargo, hay incompatibilidades importantes de

proceso electroquímico que lo hace indeseable para la producción masiva de vlsi, incluyendo

preparación de muestras previa y posterior a la grabación, isotropía de grabado y socavación de la máscara, y algo

grabado no uniforme a través de la muestra. las técnicas de grabado con láser son capaces de grabar características grandes,

tal como a través de orificios pasantes de oblea útiles para chips rf.

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