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sustratos amonotermales no polares y semipolares

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sustratos amonotermales no polares y semipolares

2018-04-24

en este trabajo, se revisan los desarrollos de producir obleas no polares (es decir, m-plano y plano) y semipolar (es decir, plano (20.1)) por método amonotermal. el método de crecimiento y los resultados de pulido se describen. logramos producir obleas no semicubulares de 26 mm × 26 mm. estas obleas poseen propiedades estructurales y ópticas sobresalientes, con densidad de dislocación por roscado del orden de 104 cm-3. También se presentan estudios detallados de capas homoepitaxiales, así como heteroestructuras de algan, que muestran el potencial de los sustratos amonotermales estudiados en la fabricación de dispositivos optoelectrónicos.


fuente: iopscience


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