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Fotodiodos de guía de onda de alta uniformidad fabricados en una oblea InP de 2 pulgadas con baja intensidad de corriente oscura y alta capacidad de respuesta

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Fotodiodos de guía de onda de alta uniformidad fabricados en una oblea InP de 2 pulgadas con baja intensidad de corriente oscura y alta capacidad de respuesta

2018-12-04

Hemos fabricado fotodiodos de guía de onda con características de alta uniformidad en un Oblea de InP de 2 pulgadas Introduciendo un proceso novedoso. los Oblea de 2 pulgadas el procedimiento de fabricación se llevó a cabo con éxito utilizando la deposición de SiNx en la parte posterior de la oblea para compensar la urdimbre de la oblea. Casi todos los fotodiodos de guía de onda medidos mostraron baja corriente oscura (promedio 419 pA, σ = 49 pA a 10 V de tensión de polarización inversa) en toda la oblea de 2 pulgadas, y se obtuvo una alta capacidad de respuesta de 0.987 A / W (σ = 0.011 A / W) en una matriz de 60 canales consecutivos en la longitud de onda de entrada de 1.3 µm. Además, también se confirmó la uniformidad de la respuesta en frecuencia.


fuente: iopscience


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