capa

composición

espesor (um)

dopaje (cm-3)

gorra

p + - gaas

0.2

zn: \u0026 gt; 1e19

revestimiento

p - al0.8ga0.2as

1

zn: 1e18

etch stop

ganar

0.008

zn: 1e18

barrera superior

al0.45ga0.55as

0.09

sin dopar

bien

al0.18ga0.82as

0.004

sin dopar

barrera

al0.45ga0.55as

0.01

sin dopar

bien

al0.18ga0.82as

0.004

sin dopar

barrera

al0.45ga0.55as

0.01

sin dopar

bien

al0.18ga0.82as

0.004

sin dopar

barrera inferior

al0.45ga0.55as

0.09

sin dopar

revestimiento

n - al0.8ga0.2as

1.4

si: 1e18

buffer

n - gaas

0.5

si: 1e18

substrato

n + - gaas

\u0026 emsp;

s: \u0026 gt; 1e18