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Epitaxia en fase de vapor de metalorgánico y caracterizaciones de aleaciones de alinas casi coincidentes en red en plantillas de gan / zafiro y sustratos gan libres

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Epitaxia en fase de vapor de metalorgánico y caracterizaciones de aleaciones de alinas casi coincidentes en red en plantillas de gan / zafiro y sustratos gan libres

2018-01-24

se llevaron a cabo los estudios de optimización de epitaxia de aleaciones de aluminio de alta calidad tipo n con diferentes contenidos de indio cultivados en dos tipos de sustratos por epitaxia de fase de vapor metalorgánico (movpe). Se examinaron el efecto de la presión de crecimiento y la relación molar v / iii sobre la velocidad de crecimiento, el contenido de indio y la morfología de la superficie de estas películas finas alınicas crecidas en movpe. las morfologías superficiales de las muestras se caracterizaron por microscopía electrónica de barrido y microscopía de fuerza atómica. variando las temperaturas de crecimiento de 860 ° C a 750 ° C, los contenidos de indio en las aleaciones de aluminio se incrementaron de 0,37% hasta 21,4% según lo determinado por mediciones de difracción de rayos X (xrd). se realizaron los estudios de optimización sobre las condiciones de crecimiento para lograr plantillas de alinn casi iguales en celdas que residían en sustratos de zafiro y de gan ganados, y los resultados se analizaron de forma comparativa. también se discuten varias aplicaciones de aleación de aluminio para diodos termoeléctricos y emisores de luz.


reflejos

► Optimización del crecimiento de movpe de aleación de aluminio en plantilla de gan y sustrato independiente. ► menor presión de crecimiento y mayor relación v / iii condujo a una mejora en la calidad del material. ► una temperatura de crecimiento más baja condujo a un mayor contenido interno con 780 ° c para alcanzar al0.83 en 0.17n. ► el uso de sustrato nativo de gan produce una reducción de la rugosidad y defectos de la superficie del material. ► se presenta el potencial de alinn para leds y aplicaciones termoeléctricas.


palabras clave

a3. epitaxia de fase de vapor metalorgánico; b1. nitruros; b2. materiales semiconductores iii-v; b3. la luz emite diodos


fuente: sciencedirect



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