La oblea de silicio sobre aislante (soi) es una de las plataformas más atractivas para circuitos integrados ópticos con el potencial de lograr una integración de gran escala a gran escala (ulsi) y la miniaturización de dispositivos. en este trabajo, basado en simulaciones para obtener propiedades ópticas apropiadas de una microcavidad de silicio poroso (psm), fabricamos con éxito un psm altamente eficiente en soi wafer mediante grabado electroquímico para la detección de ADN a una longitud de onda óptica de 1555.0 nm. el pico de resonancia estrecho con un ancho completo a la mitad como máximo de aproximadamente 26,0 nm en el espectro de reflectancia da un factor q alto que causa una alta sensibilidad para el rendimiento de detección. la sensibilidad de este sensor se investiga a través de la hibridación de ADN de 19 pares de bases en el psm mediante la modificación de la superficie utilizando un método de química de enlace cruzado estándar. el desplazamiento hacia el rojo de los espectros de reflectancia muestra una buena relación lineal con la concentración de ADN complementario, que oscila entre 0,625 y 12,500 μm, y el límite de detección es de 43,9 nm. este psm óptico en soi es altamente sensible, de respuesta rápida, fácil de fabricar y de bajo costo, que se beneficiará ampliamente de desarrollar un nuevo biosensor óptico sin etiquetas en soi wafer y tiene un gran potencial para biochips basados ​​en dispositivos ópticos integrados.

reflejos

► un biosensor sensible psm sin etiquetas en soi wafer fue fabricado por grabado electroquímico. ► mediante simulaciones y experimentos, optimizamos el biosensor psm con un alto valor q y una alta sensibilidad. ► este biosensor se usó para la detección de ADN y el desplazamiento de color rojo muestra una buena relación lineal con ADN. ► este psm óptico en soi podría ser un gran potencial para biochips basados ​​en dispositivos ópticos integrados.

palabras clave

oblea de silicio sobre aislante; microcavidad de silicio poroso; biosensor de ADN; alta sensibilidad

fuente: sciencedirect

Para obtener más información, por favor visite nuestro sitio web: http://www.powerwaywafer.com /, envíenos un correo electrónico a sales@powerwaywafer.com o powerwaymaterial@gmail.com .