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q: ¿cuál es la temperatura más alta y el choque térmico más alto que las obleas pueden soportar?

epitaxia

q: ¿cuál es la temperatura más alta y el choque térmico más alto que las obleas pueden soportar?

2017-12-26

q: ¿cuál es la temperatura más alta y el choque térmico más alto que las obleas pueden soportar?


a: a temperaturas superiores a 1000 c en la superficie libre de Si-Face de 6h-sic (0001), las propiedades de segregación de carbono se inician de modo que durante poco tiempo aparece la fina capa de carbono debido a su escape de la capa superficial. (Si el calor en el aire, el carbono interactúa con el oxígeno y no aparece la capa de carbón, solo se forma la capa de óxido (sio2)) en la cara c (000-1), este proceso se inicia desde 600-700 c. cerca de las tuberías, ¡estas propiedades se pueden iniciar a temperaturas más bajas!

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