suss microtec, un proveedor global de equipos y soluciones de procesos para la industria de semiconductores y mercados relacionados, ha lanzado la serie li, una nueva plataforma de imágenes láser de superficie anunciada el 4 de mayo de 2016.

la tecnología altamente versátil del li para el procesamiento superficial de láser abarca desde el perfilado submicrométrico de substratos recubiertos con resistencia hasta la microablación, el tratamiento fotoquímico y la metrología.

los patrones, definidos por un proceso cad, se transfieren moviendo con precisión los sustratos seleccionados por debajo de un rayo láser enfocado y de barrido. Además, la configuración del generador de imágenes láser es altamente personalizable, para adaptarse mejor a los requisitos específicos de cada usuario. la tecnología admite tamaños de sustrato desde piezas pequeñas de hasta 300 mm y alcanza una resolución de hasta 0,8 μm. la alineación multicapa es posible a través de los sistemas ópticos de alineación lateral superior e inferior. además del láser de 405 nm gan para procesos de litografía de resistencia delgada estándar, también se puede agregar una segunda fuente de láser para abordar, además, diversos procesos como, entre otros, resistencias gruesas como su8 y materiales sensibles a los infrarrojos.

La principal ventaja del generador de imágenes láser es su flexibilidad, lo que lo hace adecuado para los diversos requisitos de las instalaciones de r & académicas e industriales. las principales aplicaciones incluyen una amplia variedad de estructuración nano y 3d para litografía de obleas de alta resolución, componentes microópticos, sensores, dispositivos microfluídicos y fabricación de máscaras de fotografía.

\"Con la plataforma de imágenes de láser de superficie, agregamos una herramienta a nuestra cartera de productos que amplía nuestro conjunto de equipos de exposición existentes hacia requisitos de mayor resolución para aplicaciones de vanguardia\", dice el dr. per-ove hansson, ceo de suss microtec ag. \"Con esta adición, estamos mejorando nuestra posición de liderazgo y ofrecemos el conjunto más completo de productos y tecnologías para el mercado de la litografía y el marketing\".

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fuente: ledinside

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