2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

Orientación 2-24.wafer

2018-01-08

Las obleas se cultivan a partir de cristales que tienen una estructura cristalina regular, con silicio que tiene una estructura cúbica de diamante con un espaciado reticular de 5,430710 Å (0,5430710 nm). Cuando se corta en obleas, la superficie se alinea en una de varias direcciones relativas conocidas como orientaciones de cristal. la orientación se define por el índice del molinero, siendo las caras [100] o [111] las más comunes para el silicio. La orientación es importante ya que muchas de las propiedades estructurales y electrónicas de un solo cristal son altamente anisotrópicas. las profundidades de implantación de iones dependen de la orientación del cristal de la oblea, ya que cada dirección ofrece caminos distintos para el transporte. La rotura de obleas normalmente ocurre solo en unas pocas direcciones bien definidas. anotar la oblea a lo largo de los planos de división permite que se pueda dividir fácilmente en fichas individuales (\"troqueles\") para que los miles de millones de elementos de circuito individuales en una oblea promedio se puedan separar en muchos circuitos individuales.


en carburo de silicio, el plano de crecimiento del carburo de silicio cristalino. las orientaciones se describen usando índices de molienda tales como (0001) etc. diferentes planos de crecimiento y orientaciones tienen diferentes disposiciones de los átomos o celosía según se ve desde un ángulo particular.

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