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2-26.ttv

2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

2-26.ttv

2018-01-08

variación total del espesor (ttv): la variación máxima en el grosor de la oblea. la variación total del grosor generalmente se determina midiendo la oblea en 5 ubicaciones de un patrón cruzado (no demasiado cerca del borde de la oblea) y calculando la diferencia medida máxima en grosor.

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