2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

2-27.bow

2018-01-08

arco es la desviación del punto central de la superficie media de una oblea libre, sin sujeción desde la superficie mediana al plano de referencia. donde el plano de referencia está definido por tres esquinas del triángulo equilátero. esta definición se basa en astm f534 ahora obsoleto.



hay una serie de factores que pueden afectar la forma de una oblea, ya sea carburo de silicio, gaas o inp. mientras que una oblea tiene un espesor total, tiene la resistencia a la tracción para resistir cualquier influencia externa al cambiar su forma. sin embargo, a medida que se diluye una oblea, las influencias externas harán que la oblea se vuelva cóncava o convexa. algunas de las influencias más comunes son el tipo de película y el grosor en la superficie de la oblea.



concavidad, curvatura o deformación de la línea central de la oblea de carburo de silicio independientemente de cualquier variación de espesor presente.

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