2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio

2-28.warp

2018-01-08

warp es la diferencia entre las distancias máxima y mínima de la superficie media de una oblea libre sin sujeción desde el plano de referencia definido anteriormente. esta definición sigue a astm f657 y astm f1390, que se desvía de un plano de una línea central de rebanada o oblea que contiene regiones cóncavas y convexas.

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