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3.Definiciones de epitaxia de carburo de silicio
  • 3-9. colas de cometa

    2018-01-08

    las colas del cometa tienen una cabeza discreta y una cola que se arrastra. estas características están alineadas paralelamente a la principal  en. generalmente, todas las colas del cometa tienden a ser de la misma longitud. cuenta una vez por ocurrencia. dos colas de cometas dentro de 200 micras cuentan como una.

  • 3-10. zanahorias

    2018-01-08

    similar a las colas del cometa en apariencia, excepto que son más angulosas y carecen de una cabeza discreta. si está presente, estas características están alineadas paralelamente a la principal  en. generalmente, cualquier zanahoria presente tiende a ser de la misma longitud. cuenta una vez por ocurrencia. dos zanahorias dentro de 200 micras cuentan como una.

  • 3-11. partículas

    2018-01-08

    las partículas tienen apariencia de ojos y, si están presentes, generalmente se concentran en los bordes de la oblea y no dentro del área especificada. si está presente, cuente una vez por ocurrencia. dos partículas dentro de 200 micras cuentan como una.

  • 3-12. gotitas de silicio

    2018-01-08

    Las gotas de silicio pueden aparecer como pequeños montículos o depresiones en la superficie de la oblea. normalmente ausentes, pero si están presentes se concentran en gran medida en el perímetro de la oblea. si está presente, estime el% del área especificada afectada.

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