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mejora de la calidad cristalina de las obleas inp de 3 pulgadas

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mejora de la calidad cristalina de las obleas inp de 3 pulgadas

2018-07-30

el proceso para disminuir la densidad de dislocación en fe-dopado de 3 pulgadas obleas inp es descrito. el proceso de crecimiento de cristales es un czochralsky (lec) encapsulado en líquido convencional, pero se han añadido protectores térmicos para disminuir el gradiente térmico en el cristal en crecimiento. la forma de estos escudos se ha optimizado con la ayuda de simulaciones numéricas de transferencia de calor y tensiones termomecánicas.


este proceso se ha realizado paso a paso con una retroalimentación continua entre cálculos y experimentos. se ha obtenido una reducción del 50% del estrés térmico. los efectos de estas mejoras en las densidades de dislocación se han investigado mediante el mapeo de densidad de grabado (EPD) y difracción de rayos X (xrd): la densidad de dislocación ha disminuido drásticamente, especialmente en la parte superior del cristal (de 70,000 a 40,000 cm) 2), por lo tanto, coincide con las especificaciones para aplicaciones de microelectrónica. se ha obtenido la misma mejora para las obleas de 3 pulgadas dopadas con s.


fuente: iopscience


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