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determinación de la distribución del espesor de una capa de grafeno cultivada en una oblea sic de 2 "por medio de

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determinación de la distribución del espesor de una capa de grafeno cultivada en una oblea sic de 2 "por medio de

2017-12-01

reflejos

• el espesor del grafeno cultivado en sic se determinó mediante el perfil de profundidad aes.

• el perfil de profundidad aes verificó la presencia de la capa buffer en sic.

• se ha demostrado la presencia de enlaces iso insaturados en la capa tampón.

• Se determinó la distribución del grosor del análisis multipunto del grafeno en la oblea.

se aplicó un perfil de profundidad de espectroscopía electrónica de electrones (aes) para la determinación del espesor de una lámina de grafeno de tamaño macroscópico cultivada en 2 pulg. 6 h-sic (0 0 0 1) mediante epitaxia por sublimación. el perfil de profundidad medido se desvió de la forma exponencial esperada que muestra la presencia de una capa tampón adicional. el perfil de profundidad medido se comparó con el simulado que permitió la derivación de los espesores del grafeno y las capas de amortiguación y la concentración de si de la capa de amortiguación. se ha demostrado que la capa tampón de tipo grafeno contiene aproximadamente 30% de si insaturado. el perfilado de profundidad se llevó a cabo en varios puntos (diámetro 50 μm), lo que permitió la construcción de una distribución de espesor que caracteriza la uniformidad de la lámina de grafeno.


palabras clave

grafeno en sic; composición de la capa tampón; perfil de profundidad aes; grosor del grafeno; epitaxia de sublimación


fuente: sciencedirect


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