El efecto del recocido sobre el estrés residual y la distribución de deformación en obleas cdznte se estudió basándose en un método de difracción de rayos X (xrd). los resultados demostraron la efectividad del recocido en la reducción de la tensión y la tensión residuales. mediante análisis de transmisión de microscopía electrónica de transmisión (tem) e infrarrojo (ir), se encontró que el deslizamiento de la dislocación, la disminución del tamaño de los precipitados, la dispersión de precipitados, la homogeneización de la composición y la recombinación de defectos puntuales contribuyeron a una reducción del estrés residual y la tensión durante el recocido de la oblea. adicionalmente, la mayor tensión residual en las obleas cdznte introdujo inadaptados de red más grandes. por lo tanto, para obtener más tensión residual y deformación en la oblea cdznte, la transmisión IR se reducirá.

palabras clave

a1. recocido; a1. desajuste de celosía; a1. precipitado; a1. tensión y esfuerzo residual; a1. difracción de rayos X; b2. cdznte; b2. materiales semiconductores ii-vi

fuente: sciencedirect

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