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sustratos para deposición de película de nitruro iii-v

lista de obleas

sustratos para deposición de película de nitruro iii-v

2018-02-27

sustratos para deposición de película de nitruro iii-v


cristal

estructura

m.p.

densidad

desajuste de celosía  gan

expansión térmica

tecnología de crecimiento. .\u0026amperio;  tamaño máximo

sustrato estándar  tamaño (mm)

o do

g / cm 3

(10 -6 / k)

sic  (6h como ejemplo)

hexagonal

~ 2700

3.21

3.5% atori.

10.3

cvd

Ø2 \"x 0.3, Ø3\" x0.3

a = 3.073 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

20x20x0.3,15x15x0.3

c = 15.117 Å

\u0026 emsp;

Ø3 \"

10x10x0.3,5x5x0.3

\u0026 emsp;

subl.

\u0026 emsp;

1 lado epi pulido

Alabama 2 o 3

hexagonal

2030

3.97

14% atori.

7.5

cz

Ø50 x 0.33

a = 4.758 Å

\u0026 emsp;

Ø25 x 0.50

c = 12.99 Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

1 o 2 lados epi pulido

lialo 2

tetragonal

1900 ~

2.62

1.4% atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5.17 Å

Ø20 mm

1 o 2 lados epi pulido

c = 6.26 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

ligao 2

Orthor.

1600

4.18

0.2% atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5.406 Å

Ø20 mm

1 o 2 lados epi pulido

b = 5.012Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

c = 6.379 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

mgo

cúbico

2852

3.58

3% atori.

12.8

flujo

2 \"x2\" x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm

a = 4.216 Å

\u0026 emsp;

1 \"x1\" x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm

\u0026 emsp;

Ø2 \"

10 x10x0.5 mm

1 o 2 lados epi pulido

mgal 2 o 4

cúbico

2130

3.6

9% atori.

7.45

cz

Ø2 \"x 0.5

a = 8.083 Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

1 o 2 lados epi pulido

zno

hexag.

1975

5.605

2.2% atori.

2.9

hidro-térmico

20x20x0.5

a = 3.325 Å

20 mm

1 o 2 lados epi pulido

c = 5.213 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

gan

hexagonal

\u0026 emsp;

6.15

\u0026 emsp;

5.59

\u0026 emsp;

10x10x0.475mm

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

5x5x0.475mm

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