2020-03-17
2020-03-09
sustratos para deposición de película de nitruro iii-v
cristal |
estructura |
m.p. |
densidad |
desajuste de celosía gan |
expansión térmica |
tecnología de crecimiento. .\u0026amperio; tamaño máximo |
sustrato estándar tamaño (mm) |
o do |
g / cm 3 |
(10 -6 / k) |
|||||
sic (6h como ejemplo) |
hexagonal |
~ 2700 |
3.21 |
3.5% atori. |
10.3 |
cvd |
Ø2 \"x 0.3, Ø3\" x0.3 |
a = 3.073 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
20x20x0.3,15x15x0.3 |
||||
c = 15.117 Å |
\u0026 emsp; |
Ø3 \" |
10x10x0.3,5x5x0.3 |
||||
\u0026 emsp; |
subl. |
\u0026 emsp; |
1 lado epi pulido |
||||
Alabama 2 o 3 |
hexagonal |
2030 |
3.97 |
14% atori. |
7.5 |
cz |
Ø50 x 0.33 |
a = 4.758 Å |
\u0026 emsp; |
Ø25 x 0.50 |
|||||
c = 12.99 Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 o 2 lados epi pulido |
|||||
lialo 2 |
tetragonal |
1900 ~ |
2.62 |
1.4% atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5.17 Å |
Ø20 mm |
1 o 2 lados epi pulido |
|||||
c = 6.26 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
ligao 2 |
Orthor. |
1600 |
4.18 |
0.2% atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5.406 Å |
Ø20 mm |
1 o 2 lados epi pulido |
|||||
b = 5.012Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
c = 6.379 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
mgo |
cúbico |
2852 |
3.58 |
3% atori. |
12.8 |
flujo |
2 \"x2\" x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm |
a = 4.216 Å |
\u0026 emsp; |
1 \"x1\" x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm |
|||||
\u0026 emsp; |
Ø2 \" |
10 x10x0.5 mm |
|||||
1 o 2 lados epi pulido |
|||||||
mgal 2 o 4 |
cúbico |
2130 |
3.6 |
9% atori. |
7.45 |
cz |
Ø2 \"x 0.5 |
a = 8.083 Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 o 2 lados epi pulido |
|||||
zno |
hexag. |
1975 |
5.605 |
2.2% atori. |
2.9 |
hidro-térmico |
20x20x0.5 |
a = 3.325 Å |
20 mm |
1 o 2 lados epi pulido |
|||||
c = 5.213 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
gan |
hexagonal |
\u0026 emsp; |
6.15 |
\u0026 emsp; |
5.59 |
\u0026 emsp; |
10x10x0.475mm |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
5x5x0.475mm |