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caracterización de precipitados de oxígeno en cristales de cz-silicio mediante tomografía de dispersión de luz

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caracterización de precipitados de oxígeno en cristales de cz-silicio mediante tomografía de dispersión de luz

2018-08-30

la densidad y la intensidad de dispersión de la luz del oxígeno precipita en cz silicio los cristales se miden por tomografía de dispersión de la luz. los datos numéricos clarificados a través de las mediciones se discuten en relación con la cantidad de oxígeno precipitado. los resultados obtenidos aquí se corresponden bien con el análisis teórico de que los precipitados de oxígeno hacen que la luz se disperse. la información obtenida por tomografía de dispersión de luz explica muy bien el proceso de precipitación de oxígeno en cristales de silicio cz, y las densidades de precipitados obtenidas por este método son confiables.


fuente: iopscience


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