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oblea sic

sustrato sic y epitaxia:

subestado sic (epi ready), n tipo y semi-aislante, polytype 4h y 6h en diferentes grados de calidad, densidad de micropipe (mpd): libre, \u0026 lt; 5 / cm2, \u0026 lt; 10 / cm2, \u0026 lt; 30 / cm2, \u0026 lt ; 100 / cm2

epitaxia sic: uniformidad del grosor de la oblea a la oblea: 2%, uniformidad de dopado de la oblea a la oblea: 4%

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