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Los productos de plantilla de pam-xiamen consisten en capas cristalinas de nitruro de galio (gan), nitruro de aluminio (aln), nitruro de aluminio y galio (algan) y nitruro de indio y galio (ingan), que se depositan en sustratos de zafiro.

Los productos de plantilla de carburo de silicio o silicon.pam-xiamen permiten tiempos de ciclo de epitaxia 20-50% más cortos y capas de dispositivo epitaxial de mayor calidad, con mejor calidad estructural y mayor conductividad térmica, lo que puede mejorar los dispositivos en costo, rendimiento y rendimiento.

  • detalles del producto

plantillas de gan (nitruro de galio)


Los productos de plantilla de pam-xiamen consisten en capas cristalinas de nitruro de galio (gan), nitruro de aluminio (aln), nitruro de aluminio y galio (algan) y nitruro de indio y galio (ingan), que se depositan en sustratos de zafiro. Los productos de plantilla de pam-xiamen permiten tiempos de ciclo de epitaxia 20-50% más cortos y capas de dispositivo epitaxial de mayor calidad, con mejor calidad estructural y mayor conductividad térmica, lo que puede mejorar los dispositivos en cuanto a costo, rendimiento y rendimiento.


Epitaxia de plantillas gan de 2 "sobre substratos de zafiro

ít

pam-2inch-gant-n

pam-2inch-gant-si

conducción  tipo

tipo n

semi-aislante

dopante

si dopado o  sin dopar

dopado

tamaño

2 "(50 mm)  dia.

espesor

4um, 20um, 30um, 50um, 100um

30um, 90um

orientación

eje c (0001) +/- 1 o

resistividad (300k)

u0026 lt; 0.05Ω · cm

u0026 gt; 1x10 6 Ω · cm

dislocación  densidad

u0026 lt; 1x10 8 cm-2

substrato  estructura

gan en  zafiro (0001)

acabado de la superficie

soltero o  doble lado pulido, epi-listo

área utilizable

≥ 90%


Epitaxia de plantillas gan de 2 "sobre substratos de zafiro

ít

pam-gant-p

conducción  tipo

p-type

dopante

mg dopado

tamaño

2 "(50 mm)  dia.

espesor

5um, 20um, 30um, 50um, 100um

orientación

eje c (0001) +/- 1 o

resistividad (300k)

u0026 lt; 1Ω · cm o  personalizado

dopante  concentración

1e17 (cm-3) o  personalizado

substrato  estructura

gan en  zafiro (0001)

acabado de la superficie

soltero o  doble lado pulido, epi-listo

área utilizable

≥ 90%


Epitaxia de plantillas gan de 3 "sobre substratos de zafiro

ít

pam-3inch-gant-n

conducción  tipo

tipo n

dopante

si dopado o  sin dopar

exclusión  zona:

5 mm desde el exterior  diámetro

espesor:

20um, 30um

dislocación  densidad

u0026 lt; 1x10 8 cm-2

hoja  resistencia (300k):

u0026 lt; 0.05Ω · cm

sustrato:

zafiro

orientación:

avión c

zafiro  espesor:

430um

pulido:

De un solo lado  pulido, epi-ready, con pasos atómicos.

trasero  revestimiento:

(personalizado) alto  recubrimiento de titanio de calidad, espesor u0026 gt; 0.4 μm

embalaje:

individualmente  embalado bajo atmósfera de argón sellado al vacío en clase 100 sala limpia.


Epitaxia de plantillas gan de 3 "sobre substratos de zafiro

ít

pam-3inch-gant-si

conducción  tipo

semi-aislante

dopante

dopado

exclusión  zona:

5 mm desde el exterior  diámetro

espesor:

20um, 30um, 90um (20um  es la mejor)

dislocación  densidad

u0026 lt; 1x10 8 cm-2

hoja  resistencia (300k):

u0026 gt; 10 6 ohm.cm

sustrato:

zafiro

orientación:

avión c

zafiro  espesor:

430um

pulido:

De un solo lado  pulido, epi-ready, con pasos atómicos.

trasero  revestimiento:

(personalizado) alto  recubrimiento de titanio de calidad, espesor u0026 gt; 0.4 μm

embalaje:

individualmente  embalado bajo atmósfera de argón sellado al vacío en clase 100 sala limpia.


Plantillas de 4 "gan epitaxiales en substratos de zafiro

ít

pam-4inch-gant-n

conducción  tipo

tipo n

dopante

sin dopar

espesor:

4um

dislocación  densidad

u0026 lt; 1x108cm-2

hoja  resistencia (300k):

u0026 lt; 0.05Ω · cm

sustrato:

zafiro

orientación:

avión c

zafiro  espesor:

-

pulido:

De un solo lado  pulido, epi-ready, con pasos atómicos.

embalaje:

individualmente  embalado bajo atmósfera de argón sellado al vacío en clase 100 sala limpia.


2 "algan, ingan, aln epitaxy en plantillas de zafiro: personalizado


2 "aln epitaxy en plantillas de zafiro

ít

pam-alnt-si

conducción  tipo

semi-aislante

diámetro

Ф 50.8mm ± 1mm

espesor:

1000nm +/- 10%

sustrato:

zafiro

orientación:

eje c (0001) +/- 1 o

orientación  plano

Un avion

xrd fwhm de  (0002)

u0026 lt; 200  arcsec.

utilizable  área de superficie

≥90%

pulido:

ninguna


2 "epitaxis ingan en plantillas de zafiro

ít

pam-ingan

conducción  tipo

-

diámetro

Ф 50.8mm ± 1mm

espesor:

100-200 nm,  personalizado

sustrato:

zafiro

orientación:

eje c (0001) +/- 1 o

dopante

en

dislocación  densidad

~ 10 8 cm-2

utilizable  área de superficie

≥90%

acabado de la superficie

soltero o  doble lado pulido, epi-listo


2 "epitaxy algan en plantillas de zafiro

ít

pam-alnt-si

conducción  tipo

semi-aislante

diámetro

Ф 50.8mm ± 1mm

espesor:

1000nm +/- 10%

sustrato:

zafiro

orientación:

avión c

orientación  plano

Un avion

xrd fwhm de  (0002)

u0026 lt; 200  arcsec.

utilizable  área de superficie

≥90%

pulido:

ninguna


2 "gan en sustrato sic 4h o 6h

1) gan desdoptado  buffer o aln buffer están disponibles;

2) tipo n (si  dopado o no dopado), capas ep epitaxiales gandas tipo p o semi-aislantes disponibles;

3) vertical  estructuras conductoras en n-type sic;

4) algan -  Grosor de 20-60 nm, (20% -30% al), tampón dopado;

5) gan n-type  capa en una oblea de 2 "de 330μm +/- 25um de grosor.

6) soltero o  doble lado pulido, epi-listo, ra u0026 lt; 0.5um

7) típico  valor en xrd:

id de la oblea

identificación del sustrato

xrd (102)

xrd (002)

espesor

# 2153

x-70105033  (con aln)

298

167

679um


2 "gan en sustrato de silicio

1) capa de gan  espesor: 50nm-4um;

2) n tipo o  gan semi-aislante están disponibles;

3) solo o  doble lado pulido, epi-listo, ra u0026 lt; 0.5um


proceso de epitaxia en fase de vapor de hidruro (hvpe)


crecido por el proceso y la tecnología del hvpe para la producción de semiconductores compuestos tales como gan, aln, y algan. se utilizan en una amplia gama de aplicaciones: iluminación de estado sólido, optoelectrónica de longitud de onda corta y dispositivo de potencia RF.


en el proceso de hvpe, los nitruros del grupo iii (como gan, aln) se forman haciendo reaccionar cloruros de metales gaseosos calientes (como gacl o alcl) con gas de amoníaco (nh3). los cloruros metálicos se generan haciendo pasar gas hcl caliente sobre los metales calientes del grupo iii. todas las reacciones se realizan en un horno de cuarzo con temperatura controlada.

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