se ha evaluado una capa de cobertura de grafito para proteger la superficie de obleas epitaxiales 4h-sic con diseño y selectivamente implantadas durante el recocido posterior a la implantación. La fotoprotección az-5214e se hiló y se coció al vacío a temperaturas que oscilaban entre 750 y 850 ° C para formar un revestimiento continuo en superficies planas y planas grabadas en mesa con característi...
en la última década, los compuestos iii-n han atraído mucho interés debido a sus aplicaciones en optoelectrónica azul, violeta y ultravioleta. la mayoría de los dispositivos e investigaciones usan zafiro como sustrato para la epitaxia de nitruros. sin embargo, estas epi-estructuras contienen una densidad de dislocación muy alta inducida por el 16% de disparidad de celosía entre gan y zafiro en nue...
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