el mapa de ruta de tecnología internacional para semiconductores (itrs) identifica los datos de prueba de producción como un elemento esencial para mejorar el diseño y la tecnología en el ciclo de retroalimentación del proceso de fabricación. Una de las observaciones realizadas a partir de los datos de la prueba de producción de alto volumen es que las matrices que fallan debido a una falla sistemática tienen la tendencia a formar ciertos patrones únicos que se manifiestan como agrupaciones de defectos en el nivel de la oblea. La identificación y categorización de tales clusters es un paso crucial hacia la mejora del rendimiento de la fabricación y la implementación del control del proceso estadístico en tiempo real. Al abordar las necesidades de la industria de semiconductores, esta investigación propone un sistema automático de reconocimiento de clúster de defectos para obleas semiconductoras que logra una precisión de hasta 95% (dependiendo del tipo de producto).

palabras clave

fabricación de obleas semiconductoras; clasificación de agrupamiento de defectos; reconocimiento; extracción de características

fuente: sciencedirect

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