oblea de prueba oblea oblea de oblea

Si. No

ít

scl  presupuesto

1

método de crecimiento

cz

2

diámetro de la oblea

150 ± 0.5 mm

3

espesor de la oblea

675 ± 25 μm

4

superficie de la oblea  orientación

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopante

fósforo

6

dislocación  densidad

menos que  5000 / cm2

8

resistividad

4-7Ωcm

9

radial  variación de resistividad (máx.)

15%

10

llanura

u0026 emsp;

10 a

·  arco (max.)

60 μm

10b

·  tir (max.)

6 μm

10c

·  conicidad (max.)

12 μm

10d

·  warp (max.)

60 μm

11

primario  plano

u0026 emsp;

11a

·  longitud

57.5 ± 2.5 mm

11b

·       orientación

{110} ± 2 ° según  semi estándar

11c

secundario  plano

como por semi  estándar

12

superficie frontal  terminar

espejo pulido

13

max. partículas  de tamaño ≥0.3μm

30

14

·  arañazos, neblina, virutas de borde, cáscara de naranja y amp; otros defectos

nulo

15

superficie posterior

libre de daños  grabado

dieciséis

embalaje  requisito

debería ser vacío  sellado en el entorno de la clase "10" en el embalaje de doble capa. Los ojales deben estar  enviado en fluorion orion dos expedidores de obleas o equivalente hecho a partir de  polipropileno ultra limpio

Si. No

ít

scl  presupuesto

1

método de crecimiento

cz

2

diámetro de la oblea

150 ± 0.5 mm

3

espesor de la oblea

675 ± 25 μm

4

superficie de la oblea  orientación

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopante

fósforo

6

dislocación  densidad

menos que  5000 / cm2

8

resistividad

4-7Ωcm

9

radial  variación de resistividad (máx.)

15%

10

llanura

u0026 emsp;

10 a

·  arco (max.)

60 μm

10b

·  tir (max.)

6 μm

10c

·  conicidad (max.)

12 μm

10d

·  warp (max.)

60 μm

11

piso primario

u0026 emsp;

11a

·  longitud

57.5 ± 2.5 mm

11b

·       orientación

{110} ± 2 ° según  semi estándar

11c

piso secundario

como por semi  estándar

12

superficie frontal  terminar

espejo pulido

13

max. partículas  de tamaño ≥0.3μm

30

14

·  arañazos, neblina, chips de borde,

nulo

piel de naranja  u0026amperio; otros defectos

15

superficie posterior

espejo pulido

dieciséis

embalaje  requisito

debería ser vacío  sellado en clase '10'
ambiente en el embalaje de doble capa.
obleas deben enviarse en fluorware
orion dos cargadores de obleas o equivalentes
hecho de polipropileno ultra limpio

diámetro de la oblea

pulido

superficie de la oblea

espesor de la oblea

resistividad

partícula

orientación

4 "

1 lado

100/111

250-500 μm

0-100

0.2μm≤qty30

6 "

1 lado

100

500-675 μm

0-100

0.2μm≤qty30

8 "

1 lado

100

600-750 μm

0-100

0.2μm≤qty30

12 "

2 lados

100

650-775 μm

0-100

0.09μm≤qty100

ít#

parámetro

unidades

valor

notas

1

método de crecimiento

u0026 emsp;

cz

u0026 emsp;

2

orientación

u0026 emsp;

1-0-0

u0026 emsp;

3

resistividad

Ωм.см

1-50

u0026 emsp;

4

tipo / dopante

u0026 emsp;

р, n /

u0026 emsp;

boro,  fósforo

5

espesor

мкм

1гр. - 620,

u0026 emsp;

2гр. - 650

3гр. - 680

4гр. - 700

5гр. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3гр. u0026 lt; 30,

u0026 emsp;

4-5гр. u0026 lt; 20

7

glfr (tir

мкм

u0026 lt; 10

u0026 emsp;

8

deformación

мкм

u0026 lt; 60

u0026 emsp;

9

arco

мкм

u0026 lt; 40

u0026 emsp;

10

metal  contaminación

1 / см2

u0026 lt; 3e10

u0026 emsp;

11

superficie frontal

u0026 emsp;

pulido

u0026 emsp;

12

superficie frontal  visual:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

u0026 emsp;

neblina, arañazos,  manchas, manchas

u0026 emsp;

ninguna

piel de naranja

u0026 emsp;

ninguna

grietas, cráteres

u0026 emsp;

ninguna

13

lado frontal lpd:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

número de obleas  con el valor del parámetro establecido no debe ser inferior al 80% del lote,

u0026 lt; 0,12мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 100

u0026 lt; 0,16мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 50

u0026 lt; 0,20мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 20

u0026 lt; 0,30мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 10