2020-03-17
2020-03-09
defectos que exhiben una forma clara para el ojo no asistido y son & gt; 50 micras de ancho. estas características incluyen picos, partículas adherentes, astillas y cráteres. los grandes defectos puntuales con menos de 3 mm de separación cuentan como un defecto.
ranuras o cortes por debajo del plano de la superficie de la oblea que tienen una relación de longitud a anchura superior a 5 a 1. los arañazos se especifican por el número de arañazos discretos por la longitud total en diámetro fraccionario.
una textura que se asemeja a la superficie de una pelota de golf. especicado en% del área afectada.
El agrupamiento por pasos es visible como un patrón de líneas paralelas que se ejecutan perpendicularmente al mayor en. si está presente, estime el% del área especificada afectada.
vericado inspeccionando por un color uniforme en la parte posterior de la oblea. tenga en cuenta que hay una región más oscura cerca del centro de algunas obleas dopadas más altas. limpieza de la parte trasera especificada como porcentaje del área limpia.
áreas donde el material se ha eliminado involuntariamente de la oblea. No confunda las fracturas en epi crown con las virutas de borde.
regiones donde se interrumpió el paso de during was durante el crecimiento de la capa de epi. las regiones típicas son generalmente triangulares, aunque a veces se ven formas más redondeadas. cuenta una vez por ocurrencia. dos inclusiones dentro de 200 micras cuentan como una.
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