ofrecemos obleas epitaxiales gaas para diodo schottky de la siguiente manera:

las observaciones heterodinas milimétricas y submilimétricas mejorarán nuestra comprensión del universo, el sistema solar y la atmósfera terrestre. Los diodos schottky son componentes estratégicos que se pueden usar para construir estas fuentes o mezcladores que funcionan a temperatura ambiente. un diodo gaas schottky es uno de los elementos clave para multiplicadores y mezcladores a estas frecuencias, ya que el diodo puede ser extremadamente rápido al reducir su tamaño y también muy eficiente gracias a la baja caída de voltaje directo.

el proceso de fabricación que se presenta a continuación se basa en litografía por haz de electrones y diseños de capas epitaxiales convencionales. el material de partida es un sustrato semi-aislante de gaas de 500 μm con capas epitaxiales cultivadas mediante deposición de vapor químico orgánico-metal (mocvd) o epitaxia de haz molecular (mbe).

la estructura de la capa consiste en una primera capa de algas de ataque de algas de 400 nm y una primera membrana de gaas de 40μm seguida de una segunda capa de etching-stop de algas de 400nm y una segunda membrana gruesa de gaas.

las partes activas de los sustratos son las siguientes, capa de etnofrecuencia de algas de 40nm, capa de gaz pesadamente dopada 5x1018cm-3 de 800nm ​​y capa de gaas n de tipo 100nm dopada 1x1017cm-3.

dos estructuras diferentes para mezcladores, un mezclador mmic de 183 ghz (figura 1-a) y un mezclador de circuito 330 ghz (figura 1-b) han sido diseñados a través de sistemas cad y fabricados utilizando litografía con haz de electrones.

figura 1: capturas cad de la mezcladora mmic de 183 ghz (a) y la mezcladora de circuito de 330 ghz (b).

Para definir las mesas del dispositivo se usa un ataque al agua selectivo de algaas / gaas, la velocidad de ataque se ralentiza lo suficiente cuando se alcanza la capa de ataque químico.

para los contactos óhmicos, la capa n + gaas está empotrada, las películas de metal ni / ge / au se evaporan sucesivamente y se realiza un recocido térmico rápido.

para los puentes de aire y los ánodos Schottky / almohadillas de conexión, el proceso es el siguiente. En primer lugar, un cuadrado de resistencia se expone y refluye para formar el soporte para los puentes de aire.

los ánodos se fabrican utilizando dos capas de resistencias y el perfil requerido se obtiene mediante la combinación de espesores de capas resistentes, sensibilidades y dosis de exposición.

finalmente, la película de ti / au metal se evapora para formar los contactos schottky y las almohadillas de conexión.

los diodos son luego pasivados usando si3n4 depositado por pecvd (deposición de vapor químico mejorado por plasma). para permitir la integración del circuito, los circuitos están separados por un grabado en seco profundo usando icp (plasma acoplado inductivo) - rie: 10μm grabado para el circuito 330ghz y 50μm grabado para el 183ghz mmic.

finalmente, la oblea se monta hacia arriba sobre una oblea portadora usando cera. el sustrato de gaas semiaislante se diluye al grosor deseado (10 μm o 50 μm) utilizando el mismo proceso que en.

fuente: semiconductorwafers.net

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