La tecnología de gan hoy en día es una tecnología importante: nitruro de galio sobre carburo de silicio (gan sic), nitruro de galio sobre silicio (gan si) y nitruro de galio sobre zafiro (gan on zapphire). se usan en dispositivos led, rf y microondas. podemos ver un dilema en la cadena de suministro de gan en comparación con las gaas y su ciclo de vida. las aplicaciones sensibles a los costos seguirán el camino de la tecnología de gaas. al mismo tiempo, fundiciones e investigadores darán servicio a aplicaciones diversas y de bajo volumen con procesos especializados de gan. gan on sic seguirá centrándose en aplicaciones nicho de bajo volumen debido al mayor costo del material de sustrato, mientras que el gan sic tiene una menor eficiencia aunque tiene un bajo costo de sustrato. sin embargo, podemos ver un futuro floreciente debido a la tecnología de innovación gan en el camino. aquí nos gustaría presentar nuestra tecnología gan epitaxial de la siguiente manera:

epitaxy gan personalizada sobre sustrato sic, si y zafiro para dobladillos, leds:

no.1. c-plane (0001) gan en subs 4h o 6h sic

1) búfer gan no doblado o búfer aln están disponibles;

2) capas epitaxiales de tipo n (si dopado o no), ppt, semi-aislantes, disponibles;

3) estructuras conductoras verticales en sic de tipo n;

4) algan - 20-60 nm de espesor, (20% -30% al), tampón dopado;

5) capa gan n-tipo en oblea de 2 \"de 330μm +/- 25um de espesor.

6) lado simple o doble pulido, epi-listo, ra \u0026 lt; 0.5um

7) valor típico en xrd:

identificador de oblea id del sustrato xrd (102) xrd (002) espesor

# 2153 x-70105033 (con aln) 298 167 679um

no.2. alx (ga) 1-xn en sustrato sic

1) capas de algan, 20-30% al;

2) espesor de capa 0.2-1 μm;

3) n tipo o semi-aislante sustrato sic con en el eje están disponibles.

Numero 3. c-plane (0001) gan en sustrato de zafiro

1) espesor de la capa gan: 3-90um;

2) n tipo o gan semi-aislante están disponibles;

3) densidad de dislocación: \u0026 lt; 1x10 ^ 8 cm-2

4) lado simple o doble pulido, epi-listo, ra \u0026 lt; 0.5um

No. 4. alx (ga) 1-xn en sustrato de zafiro

2 \"gan hemt en zafiro

sustrato: zafiro

capa de nucleación: aln

capa de amortiguación: gan (1800 nm)

spacer: aln (1nm)

barrera schottky: algan (21 nm, 20% al)

cap: gan (1.5nm)

numero 5. c-plane (0001) gan en sustrato de silicio (111)

1) grosor de la capa gan: 50nm-4um;

2) n tipo o gan semi-aislante están disponibles;

3) lado simple o doble pulido, epi-listo, ra \u0026 lt; 0.5um

no.6. alx (ga) 1-xn en sustrato de silicio (111)

1) capas de algan, 20-30% al;

2) capa gan típica no dopada: 2μm de espesor;

3) concentración de la hoja: 1e13 / cm3

no.7.epi gan en sic / silicio / zafiro:

layer4. 50nm p-gan [2.1017 cm-3]

layer3. 600nm hr-gan [1015 cm-3]

layer2. 2μm n-gan [2.1018 cm-3]

layer1. capa de amortiguación (por determinar)

layer0. el lado posterior del sustrato (puede ser zafiro, sí o sic) no se ha pulido

fuente: pam-xiamen

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