reflejos

• Se evaluó el rendimiento de sílice coloidal y lodos a base de ceria en cmp de sustratos de 6h-sic.

• hubo una diferencia significativa en el rendimiento cmp de 6h-sic entre las suspensiones a base de sílice y ceria.

• para las suspensiones a base de ceria, se obtuvo una mayor mrr, especialmente en entornos ácidos fuertes de kmno4.

• el mrr máximo de lodos a base de sílice y ceria fue de 185 nm / hy 1089 nm / h, respectivamente.

se estudiaron lodos coloidales de sílice y ceria, ambos utilizando kmno4 como oxidante, para el pulido químico-mecánico (cmp) del sustrato si-face (0 0 0 1) 6h-sic, para obtener una mayor tasa de eliminación de material (mrr) y ultra- superficie lisa los resultados indican que hubo una diferencia significativa en el rendimiento cmp de 6h-sic entre suspensiones a base de sílice y ceria. para las suspensiones a base de ceria, se obtuvo una mayor mrr, especialmente en medio ácido fuerte kmno4, y la máxima mrr (1089 nm / h) y una superficie más lisa con una rugosidad media de 0,11 nm se logró usando suspensiones que contienen 2% en peso coloidal ceria, 0.05 m kmno4 a ph 2. en contraste, debido a la atracción entre partículas de sílice cargadas negativas y superficie sic cargada positiva por debajo de ph 5, el mrr máximo de lodo a base de sílice fue solo 185 nm / h con rugosidad superficial de 0.254 nm utilizando suspensiones que contenían 6% en peso de sílice coloidal, 0,05 m kmno4 a pH 6. el mecanismo de pulido se discutió en base a las medidas de potencial zeta de los abrasivos y el análisis de espectroscopía fotoelectrónica de rayos X de las superficies pulidas sic.

Gráficamente abstracto

hubo una diferencia significativa en el rendimiento cmp de 6h-sic entre las suspensiones a base de sílice y ceria. para las suspensiones a base de ceria, un alto

se obtuvo su mrr, especialmente en entornos de ácido fuerte kmno4.

palabras clave

químico mecánico pulido (cmp); carburo de silicio (sic); sílice; Ceria

fuente: sciencedirect

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