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3-11. partículas

3.Definiciones de epitaxia de carburo de silicio

3-11. partículas

2018-01-08

las partículas tienen apariencia de ojos y, si están presentes, generalmente se concentran en los bordes de la oblea y no dentro del área especificada. si está presente, cuente una vez por ocurrencia. dos partículas dentro de 200 micras cuentan como una.

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