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3-12. gotitas de silicio

3.Definiciones de epitaxia de carburo de silicio

3-12. gotitas de silicio

2018-01-08

Las gotas de silicio pueden aparecer como pequeños montículos o depresiones en la superficie de la oblea. normalmente ausentes, pero si están presentes se concentran en gran medida en el perímetro de la oblea. si está presente, estime el% del área especificada afectada.

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