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Mejora de la calidad de las epicapas de InAsSb utilizando capas intermedias de InAsSb graduadas y de InSb cultivadas mediante epitaxia de pared caliente

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Mejora de la calidad de las epicapas de InAsSb utilizando capas intermedias de InAsSb graduadas y de InSb cultivadas mediante epitaxia de pared caliente

2019-08-12

Hemos investigado las propiedades estructurales y eléctricas de las epicapas de InAsxSb1−x cultivadas en sustratos de GaAs(0 0 1) mediante epitaxia de pared caliente . Las epicapas se cultivaron en una capa graduada de InAsSb y una capa tampón de InSb . La composición de arsénico (x) de la epicapa InAsxSb1−x se calculó mediante difracción de rayos X y resultó ser 0,5. Las capas graduadas se cultivaron con gradientes de temperatura As de 2 y 0,5 °C min−1. El crecimiento tridimensional (3D) de la isla debido al gran desajuste de la red entre InAsSb y GaAs se observó mediante microscopía electrónica de barrido. Como los espesores de la capa graduada de InAsSby la capa de amortiguamiento de InSb se incrementan, se observa una transición de un crecimiento en isla 3D a un crecimiento similar a una meseta bidimensional. Las mediciones de la curva oscilante de rayos X indican que el ancho completo a la mitad de los valores máximos de las epicapas se redujo al usar las capas graduadas y de amortiguamiento. Se observó una mejora espectacular de la movilidad de los electrones de las capas cultivadas mediante medidas de efecto Hall.


Fuente:IOPscience

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