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Variación de calidad de las capas heteroepitaxiales de ZnSe correlacionada con la falta de uniformidad en la oblea de sustrato de GaAs

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Variación de calidad de las capas heteroepitaxiales de ZnSe correlacionada con la falta de uniformidad en la oblea de sustrato de GaAs

2019-08-06

Las capas de ZnSe se cultivan heteroepitaxialmente en sustratos cortados de una oblea de GaAs(100) semiaislante no dopada y cultivada con LEC a lo largo del diámetro paralelo al eje [001]. Las intensidades de la fotoluminiscencia de excitón libre y la difracción de rayos X de las capas de ZnSe muestran un perfil en forma de M a lo largo del diámetro de la oblea de GaAs y están inversamente correlacionadas con la distribución de la densidad de grabado de la oblea de GaAs. Esta observación brinda, por primera vez, evidencia experimental de que la calidad de las capas heteroepitaxiales de ZnSe cultivadas mediante técnicas epitaxiales recientes puede verse limitada por la calidad de los sustratos de GaAs .


Fuente:IOPscience

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