proporcionamos obleas de n + o p + gaas epi con la capa de alas en el substrato n + o p + gaas de la siguiente manera:

especificación no.1: p + gaas epi de 2 pulgadas con una capa de alas sobre el substrato de p + gaas.

estructura (de abajo hacia arriba):

layer0: 350 um p + sustrato de gaas semiconductores, \u0026 gt; e18 doping, cualquier tipo de dopante

layer1: 300 nm p + semiconductores de la capa tampón de gaas, \u0026 gt; e18 concentración de dopaje, cualquier tipo de dopante

layer2: 10 nm alas no dopado (la capa de alas debe crecer usando as2 [dímero] y no as4 [tetrámero]),

layer3: 2 um p + semiconductores de la capa de gaas epi, \u0026 gt; e18 concentración de dopaje, cualquier tipo de dopante

especificación no.2: n + gaas epi de 2 pulgadas con la capa de alas en el sustrato n + gaas.

estructura (de abajo hacia arriba):

layer0: 350 um n + sustrato de gaas semiconductores, dopaje con \u0026 gt; e18 doping

capa 1: 300 nm n + semiconductores capa tampón gaas, dopaje con \u0026 gt; e18 concentración de dopaje

layer2: 10 nm alas no dopado (la capa de alas debe crecer usando as2 [dímero] y no as4 [tetrámero]),

layer3: 2 um n + semiconductores de la capa de gaas epi, si-dopaje con \u0026 gt; e18 concentración de dopaje

especificación no.3: gaas de 2 pulgadas - estructura alas de dos barreras:

1 capa: contacto, gaas, concentración de portador 10e18 cm-3, 100 nm

2 capas: espaciador, gaas, sin doblar, 10 nm

3 capas: barrera, por desgracia, sin duplicar, 2,3 nm

4 capas: pozo cuántico, gaas, no dopado, 4,5 nm

5 capas: barrera, alas, sin dopar, 2 nm

6 capas: espaciador, gaas, sin dopar, 40 nm

7 capas: contacto, gaas, concentración de portador 10e18 cm-3, 500 nm

especificación no.4: 20nm gap no dopado / 10nm alas en gaas s.i. sustrato (sin dram, sin sram, sin chips de memoria - solo obleas).

anisotropía de la conductividad térmica en gaia / alas superredes

combinamos la rejilla térmica transitoria y las técnicas de termorreflexión en el dominio del tiempo para caracterizar las conductividades térmicas anisotrópicas de superredes gaas / alas de la misma oblea. la técnica de rejilla transiente es sensible solo a la conductividad térmica en el plano, mientras que la termorreflexión en el dominio del tiempo es sensible a la conductividad térmica en la dirección cruzada, lo que los convierte en una poderosa combinación para enfrentar los desafíos asociados con la caracterización de la conducción de calor anisotrópica películas. comparamos los resultados experimentales de las superredes gaas / alas con cálculos de primeros principios y mediciones previas de si / ge sls. la anisotropía medida es menor que la de si / ge sls, consistente tanto con la imagen de discrepancia de masa de la dispersión de la interfaz como con los resultados de los cálculos de la teoría de perturbación funcional de densidad con mezcla de interfaz incluida.

fuente: semiconductorwafers.net

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