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2.Definición de propiedades dimensionales, terminología y métodos de oblea de carburo de silicio
  • 2-1.wafer diameter

    2018-01-08

    la distancia lineal a través de la superficie de un corte circular que contiene el centro del corte y excluye cualquier plano u otras áreas fiduciarias periféricas. los diámetros estándar de la oblea de silicio son: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") y 300 mm (12 \"). la dimensión lineal a través de la superficie de una oblea. la medición se realiza manualmente con pinzas digitales certificadas por ansi en cada oblea individual.

  • 2-2. espesor de ola, punto central

    2018-01-08

    delgado (el espesor depende del diámetro de la oblea, pero típicamente es menor a 1 mm), una rodaja circular de material de semiconductor de un solo cristal cortado del lingote de un semiconductor de cristal único; utilizado en la fabricación de dispositivos semiconductores y circuitos integrados; Los diámetros de las obleas pueden variar de 5 mm a 300 mm. medido con herramientas certificadas sin contacto ANSI en el centro de cada oblea individual.

  • Longitud plana 2-3.wafer

    2018-01-08

    dimensión lineal del at medido con pinzas digitales certificadas por ansi en una muestra de una oblea por lingote.

  • Orientación de la superficie 2-4.wafer

    2018-01-08

    denota la orientación de la superficie de una oblea con respecto a un plano cristalográfico dentro de la estructura reticular. en obleas cortan intencionalmente \"fuera de orientación\", la dirección de corte es paralela a la primaria  en, lejos de la secundaria  en. medido con un goniómetro de rayos X en una muestra de una oblea por lingote en el centro de la oblea.

  • 2-5.misorientation

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    en las obleas cortan intencionalmente \"fuera de orientación\", el ángulo entre la proyección del vector normal a las obleas superficie en un plano {0001} y la proyección en ese plano del \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; más cercano; dirección.

  • 2-6.wafer piso primario

    2018-01-08

    el plano de longitud más larga en la oblea, orientado de tal manera que la cuerda es paralela a un plano de cristal de índice bajo especificado; piso principal. el primaryat primario es el plano {10-10} con la cara at paralela a la \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; dirección.

  • 2-7.primera orientación plana

    2018-01-08

    el ofat de la longitud más larga en la oblea, orientado de tal manera que la cuerda es paralela a un plano de cristal de índice específico especificado. medido en una oblea por lingote usando la técnica de retro-reflexión de Laue con medición manual del ángulo.

  • 2-8. orientación plana secundaria

    2018-01-08

    un ofat de longitud más corta que la orientación primaria at, cuya posición con respecto a la orientación primaria at identifica la cara de la oblea.

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