2020-03-17
2020-03-09
cualquier materia extraña en la superficie en áreas localizadas que se revela bajo una iluminación de alta intensidad (o difusa) como una apariencia descolorida, moteada o turbia debido a manchas, manchas o manchas de agua.
una fractura o rotura de la oblea que se extiende desde la superficie frontal de la oblea a la superficie del lado posterior de la oblea. las grietas deben exceder 0.010 "de longitud bajo iluminación de alta intensidad para discriminar líneas de fractura de estriaciones cristalinas permisibles. las líneas de fractura típicamente exhiben líneas de propagación nítidas y delgadas, que las discriminan de las estrías de los materiales.
cualquier anomalía de borde (incluidas las marcas de salida de la sierra de oblea) superior a 1.0 mm en profundidad o ancho radial. como se ve bajo iluminación difusa, los chips de borde se determinan como material que falta involuntariamente del borde de la oblea.
el anillo exterior de la oblea se designa como área de manejo de obleas y está excluido de los criterios de surfacemensaje superficial (como arañazos, picaduras, neblina, contaminación, cráteres, hoyuelos, surcos, montículos, cáscara de naranja y marcas de sierra). este anillo es de 2 mm para sustratos de 76.2 mm y de 3 mm para sustratos de 100.0 mm.
Plaquetas hexagonales en forma de plaquetas en la superficie de la oblea que aparecen de color plateado a simple vista, bajo iluminación difusa.
también conocido como \"montículo\" cuando un defecto impide la detección de otro defecto, el defecto no detectado se denomina defecto enmascarado. un área elevada distinta por encima de la superficie frontal de la oblea vista con iluminación difusa.
rugosidad superficial detectable visualmente cuando se ve bajo iluminación difusa.
anomalías individuales de superficie distinguibles, que aparece como una depresión en la superficie de la oblea con una relación de largo a ancho inferior a 5 a 1, y visible bajo iluminación de alta intensidad.
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