Un pequeño conjunto de lentes de Fresnel era diamante convertido en un oblea de cristal único InSb utilizando una herramienta de diamante de un solo punto con ángulo de inclinación negativo (−25 °) de medio radio. La matriz mecanizada consistía en tres lentes de Fresnel cóncavas cortadas bajo diferentes secuencias de mecanizado. Los perfiles de lente de Fresnel se diseñaron para operar en el dominio paraxial con una distribución de fase cuadrática. La muestra se examinó mediante microscopía electrónica de barrido y un perfilómetro óptico.

También se utilizó la profilometría óptica para medir la rugosidad de la superficie de la superficie mecanizada. Se observaron virutas dúctiles en forma de cinta en la cara de rastrillo de la herramienta de corte. No se observaron signos de desgaste del filo en la herramienta de diamante. La superficie mecanizada presentaba una fase amorfa probada por espectrometría micro Raman. Se realizó un tratamiento térmico exitoso de recocido para recuperar la fase cristalina en la superficie mecanizada. Los resultados indicaron que es posible realizar un proceso de 'litografía mecánica' en semiconductores de cristal único .

fuente: iopscience

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